公司于2009年4月成立,是一家以離子束技術為核心的集科研、制造于一體的高科技企業,主要研制、生產、再制造和銷售高端離子注入機,重點應用于光伏太陽能電池,新型平板顯示,和半導體集成電路領域。2016年新三板掛牌,2018年并入萬業企業( 股票代碼600641)。
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